半導(dǎo)體、微電子、光伏等行業(yè)隨著產(chǎn)品工藝越來越先進(jìn)、生產(chǎn)中使用的超純水也是產(chǎn)品合格率的重要組成部分。因此對(duì)純水水質(zhì)要求也越來越高，比如單晶硅、多晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線柜架、集成電路、 液晶顯示器、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器、5G產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水基本是18.25MΩ﹒cm范圍的水質(zhì)要求。
工藝流程
1. 傳統(tǒng)制水工藝：（預(yù)處理+陰陽混床）
CWS-->MMF-->ACF-->KCF-->凈水箱-->混床(復(fù)床)-->純水箱-->純水輸送泵-->精密過濾-->用水點(diǎn)
2.極減制水工藝：（預(yù)處理+一級(jí)反滲透+陰陽混床）
CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->一級(jí)RO反滲透系統(tǒng)-->混床(復(fù)床)-->純水箱-->純水輸送泵-->精密過濾-->用水點(diǎn)
3.簡配制水工藝：（預(yù)處理+一級(jí)反滲透+EDI電除鹽系統(tǒng)+拋光混床系統(tǒng)）
CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->一級(jí)RO反滲透系統(tǒng)-->EDI電除鹽系統(tǒng)-->純水箱->純水輸送泵-->拋光混床系統(tǒng)-->精密過濾-->用水點(diǎn)
4.正規(guī)制水工藝：（預(yù)處理+二級(jí)反滲透+EDI電除鹽系統(tǒng)+拋光混床）
CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->1-RO-->2-RO-->EDI-->純水箱->純水輸送泵-->拋光混床系統(tǒng)-->精密過濾-->用水點(diǎn)
5.高品質(zhì)水制水工藝：（預(yù)處理+二級(jí)反滲透+EDI電除鹽系統(tǒng)+純水脫氧系統(tǒng)+拋光混床+生物膜過濾）
CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->1-RO系統(tǒng)-->2-RO系統(tǒng)-->EDI-->MDG-->TOC-UV-->拋光混床系統(tǒng)-->生物膜過濾系統(tǒng)-->用水點(diǎn)
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